铸铁平台精度的检定仪器

　　铸铁平台精度的检定仪器

　　1、 0.005m/m自准直仪，用米字型或风格型布点，检定点及平面度误差值检定误差均不超过1.75um要求，可以用来检定0级平板平面度。

　　2、0.005mm/m电子水平仪，用米字型布点，检定点及平面度误差值检定误差不超过1.75um要求，用网格型布点，检定点检定误差超出1.75um要求，但这种布点方式按较小条件原则评定平面度误差值检定误差未超过1.75um，可以用来检定平板平面度。